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特長:

ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。
モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。


用途:

理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。
真空排気装置、電子顕微鏡のバック。
半導体製造装置。
真空蒸着装置、凍結乾燥器。
医療用機器全般。


仕様:

排気速度(L/min)50/60Hz:100/120
到達圧力(Pa):0.67
吸気口径(mm):27
電源(V):単相100
全高(mm):264
全長(mm):500.5
使用油:SMR-100
全幅(mm):234
寸法(mm):234×500.5×264
一台から異電圧に別作対応


注意:

油の汚れ、減少を定期的にチェックしてください。
停止時には真空側に油の逆流が発生します。必ずポンプ内を大気圧に戻してください。
大気圧近くでの連続運転には不適当です。


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