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特長:

接ガス部面に表面処理を施したケミカル型の真空ポンプです。
化学工業、半導体業界などで使用する特殊なガス、溶剤を扱う真空引きに最適な、耐久性を増したポンプです。


用途:

濃縮機などの化学機器。
半導体製造装置。
製薬機械。
薬品処理後の乾燥。
真空乾燥機、連結乾燥機


仕様:

排気速度(L/min)50/60Hz:135/162
到達圧力(Pa):0.67
吸気口径:KF-25
電源(V):単相100
サーマルプロテクタ付:○
全高(mm):241.1
全長(mm):493
使用油:SO-M
全幅(mm):170.0
寸法(mm):170.0×493×241.1
2段排気方式
一台から異電圧に別作対応
ケミカルタイプ


注意:

真空ポンプ油は合成油(SO-M)をご使用ください。
特殊ガス、溶液などを吸引されるときは事前にご相談ください。
大気圧近くでの連続運転には不適当です。
腐食性ガスを吸引される場合のオプショナルパーツの選定は材質と耐食性をご確認ください。


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